Fotolitografía Opción A (a base de solvente) - Photolithography (Option A))

By Nano-Link Center for Nanotechnology Education1, James J Marti2, Maryam Jalali, Rodfal Alberto Rodriguez (editor)3, María Teresa Rivera (editor)3

1. Nano-Link Center for Nanotechnology Education 2. Minnesota Nano Center, University of Minnesota, Minneapolis, MN 3. Cupay Maria Montessori School

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Abstract

Este módulo presenta una introducción y demostración de fotolitografía, proceso de copiar un patrón de alta resolución en múltiples sustratos.  Los estudiantes replican los pasos clave en el proceso de fotolitografía y aprenden cómo estos procesos encajan en la fabricación de dispositivos de micro y nano escala, como son los circuitos integrados.  Esta actividad utiliza disolventes y productos químicos similares a los utilizados en la industria electrónica para realizar un paso clave en el proceso de fabricación de circuitos integrados.  También está disponible una versión modificada de esta actividad que usa la química basada en agua.

Este recurso contiene varios documentos para descargar, incluida una guía del maestro y diapositivas de presentación. Para ver una lista de todos los documentos, haga clic en la pestaña Documentos de Apoyo (Supporting Docs).

Available in english: Photolithography Option A.

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Cite this work

Researchers should cite this work as follows:

  • Nano-Link Center for Nanotechnology Education, James J Marti, Maryam Jalali, Rodfal Alberto Rodriguez, María Teresa Rivera (2020), "Fotolitografía Opción A (a base de solvente) - Photolithography (Option A))," https://nanohub.org/resources/33770.

    BibTex | EndNote

Submitter

Billie Copley

Dakota County Technical College/ Nano-Link: Center for Nanotechnology Education

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