Este módulo presenta una introducción y demostración de fotolitografía, proceso de copiar un patrón de alta resolución en múltiples sustratos.  Los estudiantes replican los pasos clave en el proceso de fotolitografía y aprenden cómo estos procesos encajan en la fabricación de dispositivos de micro y nano escala, como son los circuitos integrados.  Esta actividad utiliza productos químicos y procesos a base de agua, lo que permite su uso con estudiantes más jóvenes y / o en aulas y laboratorios sin extractor.

Este recurso contiene varios documentos para descargar, incluida una guía del maestro y diapositivas de presentación. Para ver una lista de todos los documentos, haga clic en la pestaña Documentos de Apoyo (Supporting Docs).

Available in english: Photolithography Option B.

Fundación Nacional de Ciencias

Researchers should cite this work as follows:

• Nano-Link Center for Nanotechnology Education, James J Marti, Maryam Jalali, Rodfal Alberto Rodriguez, María Teresa Rivera (2020), "Fotolitografía Opción B (a base de agua) - Photolithography (Option B))," https://nanohub.org/resources/33774.

  BibTex | EndNote

1. ATE Centers
2. educator resources
3. high school
4. K-12
5. lab experiment
6. lithography
7. microelectronics
8. middle school
9. Nano-Link
10. Nanoscience and Nanotechnology
11. nanoscience/technology education
12. photolithography
13. Spanish
14. Tools for Simulating Lithography