Fotolitografía Opción B (a base de agua) - Photolithography (Option B))

By Nano-Link Center for Nanotechnology Education1, James J Marti2, Maryam Jalali3, Rodfal Alberto Rodriguez (editor)4, María Teresa Rivera (editor)4

1. Nano-Link Center for Nanotechnology Education 2. Minnesota Nano Center, University of Minnesota, Minneapolis, MN 3. University of Minnesota 4. Cupay Maria Montessori School

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Abstract

Este módulo presenta una introducción y demostración de fotolitografía, proceso de copiar un patrón de alta resolución en múltiples sustratos.  Los estudiantes replican los pasos clave en el proceso de fotolitografía y aprenden cómo estos procesos encajan en la fabricación de dispositivos de micro y nano escala, como son los circuitos integrados.  Esta actividad utiliza productos químicos y procesos a base de agua, lo que permite su uso con estudiantes más jóvenes y / o en aulas y laboratorios sin extractor.

Este recurso contiene varios documentos para descargar, incluida una guía del maestro y diapositivas de presentación. Para ver una lista de todos los documentos, haga clic en la pestaña Documentos de Apoyo (Supporting Docs).

Available in english: Photolithography Option B.

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Cite this work

Researchers should cite this work as follows:

  • Nano-Link Center for Nanotechnology Education, James J Marti, Maryam Jalali, Rodfal Alberto Rodriguez, María Teresa Rivera (2020), "Fotolitografía Opción B (a base de agua) - Photolithography (Option B))," https://nanohub.org/resources/33774.

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Submitter

Billie Copley

Dakota County Technical College/ Nano-Link: Center for Nanotechnology Education

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